| 品名 | 英文名 | 分子式 | 級別 | 詳情信息 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| UPSSS | UPSS | UPS | EL | CP | IN | ||||
| 硫酸 | sulfuric acid | H?SO? | ◆ | ◆ | ◆ | ◆ | ◆ | ◆ | 點擊查看 |
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* IN工業級
* CP化學純級 * EL等同于于美國SEMI G1標準，可控制顆粒物(依需求)，控制十多種金屬元素，單項金屬元素控制在300ppb以下。 * UPS等同于美國SEMI G3標準，可控制顆粒物(依需求)，控制三十多種金屬元素，單項金屬元素控制在1ppb以下。 * UPSS等同于美國SEMI G4標準，可控制顆粒物(依需求)，控制三十多種金屬元素，單項金屬元素控制在0.1ppb以下。 * UPSSS優于美國SEMI G5標準，可控制顆粒物(依需求)，控制三十多種金屬元素，單項金屬元素控制在0.01ppb以下。 |
*表示注解 | ||||||||
